珠海中芯集成电路有限公司晶圆生产线及污水处理系统升级改造项目环评报告表(公示稿)x
编号：
建设项目环境影响报告表
（试行）
项目名称：珠海市中芯集成电路有限公司晶圆生产线及污水
处理系统升级改造目
建设单位(盖章):珠 海 市 中 芯 集 成 电 路 有 限 公 司
编制日期：二〇二〇年三月国家环境保护部制
《建设项目环境影响报告表》编制说明
《建设项目环境影响报告表》由具有从事环境影响评价工作资质的单位编制。
1、项目名称——指项目立项批复时的名称，应不超过 30 个字（两个英文字段作一个汉字）。
2、建设地点——指项目所在地详细地址，公路、铁路应填写起止地点。
3、行业类别——按国标填写。
4、总投资——指项目投资总额。
5、主要环境保护目标——指项目区周围一定范围内集中居民住宅区、学校、医院、保护文物、风景名胜区、水源地和生态敏感点等，应尽可能给出保护目标、性质、规模和距厂界距离等。
6、结论与建议——给出本项目清洁生产、达标排放和总量控制的分析结论，确定污染防治措施的有效性，说明本项目对环境造成的影响，给出建设项目环境可行性的明确结论。同时提出减少环境影响的其他建议。
7、预审意见——由行业主管部门填写答复意见，无主管部门项目，可不填。
8、审批意见——由负责审批本项目的环境保护行政主管部门批复。
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750334.40%0756-86320350756-8632035--建设项目基本情况--
750
33
4.40%
0756-8632035
0756-8632035
项目名称
珠海市中芯集成电路有限公司晶圆生产线及污水处理系统升级改造目
建设单位
珠海市中芯集成电路有限公司
法人代表
吴俊
联系人
林小姐
通讯地址
珠海市南屏科技工业园屏西三路 8 号厂房
联系电话
传真
邮政编码
519000
建设地点
珠海市南屏科技工业园屏西三路 8 号厂房
（经纬度 GCL-02 坐标：E113°27’24”，N22°12’40”）
立项审批部门
批准文号
建设性质
新建□ 改扩建□ 技改√
行业类别及代码
集成电路制造 C3973
占地面积
(平方米)
2446
绿化面积
(平方米)
--
总投资
(万元)
其中：环保投资（万元）
环保投资
占总投资比例
评价经费
(万元)
预期投产日期
2020 年 7 月
工程内容及规模： 一、项目来由
项目背景
晶圆指制造半导体晶体管或集成电路的衬底（也叫基片），由于是晶体材料，其形状为圆形，所以称为晶圆，衬底材料有硅、锗、GaAs、InP、GaN 等。由于硅最为常用， 如果没有特别指明晶体材料，通常指硅晶圆。本项目所用的原材料晶圆是指硅半导体集成电路制作所用的硅晶片，经过质检后合格进行贴膜、研磨、切割等加工，产品为盒装晶圆（加工后）。
企业历程
珠海市中芯集成电路有限公司原位于珠海市南屏科技工业园屏西七路5 号B 栋一楼
1 之 9，2011 年 9 月取得《关于珠海市中芯集成电路有限公司生产项目环境影响报告表》
的批复（珠香环建表[2011]418 号），年加工晶圆 36000 片。
2018 年 2 月，企业取得《珠海市中芯集成电路有限公司迁建项目环境影响报告表》的批复（珠香环建表[2018]10 号），厂区搬迁至珠海市香洲区南屏科技工业园屏西三路 8 号厂房，通过租赁厂房 2446 平方米，主要从事半导体测试及加工，年加工晶圆 10 万
片，同年 12 月通过环境保护竣工验收，并依法备案了《突发环境事件应急预案》，备案号 440402-2018-038-L。
（3）环评依据
2020 年，根据市场发展需要，企业投资 750 万元，拟从年加工晶圆 10 万片扩能至
年加工 15 万片，并相应对污水处理系统进行升级改造，使污水处理系统适应扩能后的生产能力。本项目实施前后，企业不改变现有的晶圆加工工艺，不改变现有厂房主要布局和工作制度，仅通过新增部分设备和依托现有职工，实现扩大生产能力。
根据《国民经济行业分类》（GB/T4754-2017）（2019 修改版），本项目属于“39 计算机、通信和其他电子设备制造业”中的“C3973 集成电路制造”类别，根据《中华人民共和国环境保护法》、《中华人民共和国环境影响评价法》以及《建设项目环境影响评价分类管理名录（修改单）》（2018 年 4 月 28 日起施行）等文件的有关规定，本项目属于“二十八、计算机、通信和其他电子设备制造业”，应编制环境影响评价报告表（具体见表 1.1-1）。
表 1.1-1 建设项目环境影响评价分类管理名录类别表（节选）
环评类别
项目类别
报告书
报告表
登记表
二十八、计算机、通信和其他电子设备制造业
82
电子器件制造
/
显示器件；集成电路；有分割、焊接、酸洗或有机溶剂
清洗工艺的
其他
珠海市中芯集成电路有限公司委托广东韶科环保科技有限公司承担该项目的环境影响评价工作，广东韶科环保科技有限公司经现场调查，收集资料完成《珠海市中芯集成电路有限公司晶圆生产线及污水处理系统升级改造目环境影响报告表》的编制，供珠海市中芯集成电路有限公司上报环保管理部门审批。
二、项目建设内容
1、项目基本情况
项目名称：珠海市中芯集成电路有限公司晶圆生产线及污水处理系统升级改造目建设地点： 珠海市南屏科技工业园屏西三路 8 号厂房， 中心地理坐标为 E
113.456722°，N 22.211041°），地理位置图见附图 1 所示。项目性质：技术改造
项目投资：总投资 750 万元，其中环保工程为 33 万元，环保投资占总投资的 4.4%。用地面积：2446m3，不新增用地。
建设周期：项目总建设周期为 1 个月。
生产定员：企业现有职工 50 人，本项目依托现有员工生产，不新增定员。
生产周期：每天 3 班，每班工作 8 小时，全年工作 300 天，不提供食宿。
2、项目建设内容
项目在现有厂房内，通过购置部分设备，新增原料采购量，扩大晶圆的加工能力， 从年加工 10 万片扩能至年加工 15 万片，并配套改造污水处理系统，在原有设计处理能力为 2m3/h 的污水处理系统不变的基础上，新增一套设计处理能力为 3m3/h 的污水处理设施。本项目建设完成后，废水设施总设计处理能力为 5m3/h。
3、原料及产品方案
本项目在保持现有晶圆原材料类型不变、加工工艺不变、产品类型不变的基础上， 仅扩大加工能力，具体如下：
表 1.1-2 项目产品方案
类型
原材料名称及
用量
主要加工工
艺
产品名称
年加工能
力
年生产时间
改造前
晶圆：10 万片蓝膜：200kg
贴膜、研磨、切割、包装
加工晶圆（盒装）
10 万片
每天 3 班，每
班工作 8 小 时，全年工作
300 天
改造后
晶圆：15 万片蓝膜：300kg
贴膜、研磨、切割、包装
加工晶圆（盒装）
15 万片
每天 3 班，每
班工作 8 小 时，全年工作
300 天
变化情况
原料类型不变
增加原料用量
加工工艺不
变
产品类型不变
+5 万片
不变
4、主要设备
本项目技改前后生产工艺不发生变化，因此现有生产设备不变，为了适应增加产能后的生产能力，将新增切割机等设备，其余主要生产设备不发生变化。项目改造前后具
体设备情况见表 1.1-3 所示。
表 1.1-3 项目主要生产设备变化情况
序号
设备名称
设备型号
现有情况
改造后情况
变化量
用途
1
反渗透纯水机
/
1
1
不变
制备纯水
2
减薄机
/
2
2
不变
晶圆减薄
3
探针机
TZJ001~TZJ016
16
16
不变
晶圆检验
4
测试机
CSJ001~CSJ020
20
20
不变
晶圆测试
5
切割机
QGJ001~QGJ005
5
6
+1
晶圆切割
6
贴膜机
TMJ001
1
1
不变
晶圆贴膜
7
挑晶机
TJJ001
1
1
不变
晶圆挑粒
5、公辅工程
给排水
本项目由市政供水，主要用水为生产用水（7.2 万m3/a）以及员工生活用水（520m3/a）。生产用水：项目晶圆研磨和切割采用湿法研磨和切割工艺，纯水使用量 3.6 万 m3/a。
纯水利用市政供水并通过现有一台反渗透纯水机制备，该纯水制备机出水率约为 50%， 因此需用水 7.2 万 m3/a，排放反渗透浓缩水 3.6 万 m3/a。
员工生活用水：企业员工工作、生活用水量为 520m3/a，由市政管网提供；生活用水排污系数按 0.9 计，则产生员工生活污水 468 m3/a。
供电
本项目由市政电网供电，不设备用发电机，根据目前企业用电量预测，本项目实施后全厂年耗电量为 70 万度。
贮运
该项目原材料及产品进出厂使用汽车运输。原材料及产品贮存于现有仓库内。
辅助工程
本项目依托现有厂区办公室、门卫等和相应管理制度，无新增辅助工程。
6、环保工程
废水
厂区现有一套设计处理能力为 2m3/h 的污水处理系统，主要对生产废水进行处理。晶圆研磨和切割工序产生废水，在研磨、切割的过程中颗粒随水流留在水中，颗粒成分为单质硅，不溶于水，因此采用“混凝-絮凝-斜管沉淀”处理工艺，主要去除废水中的
悬浮物。
现有污水处理工艺流程如下图 1.1-1 所示。
图 1.1-1 珠海市中芯集成电路有限公司现有废水治理工艺流程图
本项目实施后，晶圆加工能力由 10 万片提升至 15 万片，在研磨、切割工序将产生更多的生产废水，但污水水质与现有工程基本一致，主要水污染物仍为悬浮物（单质硅），因此继续采用“混凝-絮凝-斜管沉淀”处理工艺，拟新增一套污水处理设施，考虑到以后企业发展计划，新增污水处理设施设计处理能力为 3m3/h，处理工艺与现有污水处理工艺一致，污泥储存和压滤依托现有污泥储罐和厢式压滤机进行，本项目新增的污水处理设施治理工艺流程如下图 1.1-2 所示。
图 1.1-2 本项目改造后新增废水治理设施及工艺流程图
废气
本项目生产过程中无工业废气产生，无需废气治理设施。
晶圆加工车间为精密集成电路制造车间，遵循无尘车间生产规定，生产人员需穿着指定工作制服进行生产。对晶圆的研磨、切割等加工过程均为精密机械、仪器内进行， 生产过程中不存在有组织废气及无组织废气排放。
噪声
本项目仅在生产车间内新增少量生产设施，并新增一套 3m3/h 污水处理系统，新增噪声源主要为污水处理区域的水泵产生，通过低噪声设备选型和合理布局可满足相应噪声治理需求。
固体废物
本项目新增固体废物均依托现有厢式压滤机处理后，暂存在污泥存放处，不涉及新增治理、存放设施。
污水处理系统新增产生的污泥（经混凝、絮凝沉淀后的单晶硅颗粒）依托现有厢式
污泥压滤机压滤后外运；新增职工产生的生活垃圾依托现有定点收集和环卫清理途径进行处理。
7、项目组成总结
本项目改造设施后，新增部分设备，扩大晶圆的加工能力，从年加工 10 万片扩能至年加工 15 万片，并在现有 2m3/h 的污水处理设施基础上，新增一套 3m3/h 污水处理系统。本项目工程组成内容明细见下表 1.1-4。
表 1.1-4 本项目工程组成一览表
类别
工程名称
本项目技改内容
备注
技改前
技改后
主体工程
车间
厂房一、二层
厂房一、二层
不改变现有厂区及车间布局
设备
反渗透纯水机、减薄机、探针机、测试机、切割机、
贴膜机、挑晶机
反渗透纯水机、减薄机、探针机、测试机、切割机、
贴膜机、挑晶机
主要生产设备不变， 仅新增切割机等少量设备
原料
晶圆：10 万片
蓝膜：200kg
晶圆：15 万片
蓝膜：300kg
原料类型不变，增加原料用量
工艺
贴膜、研磨、切割、包装
贴膜、研磨、切割、包装
加工工艺不变
产品
10 万片加工晶圆
（盒装）
15 万片加工晶圆
（盒装）
新增 5 万片加工产能
储运工程
仓库
包装材料仓库、
IC 仓库等
包装材料仓库、
IC 仓库等
不变
运输
汽车运输
汽车运输
不变
辅助工程
给水
依托市政管网制备纯水
托市政管网制备纯水
不变
排水
接入市政污水管
网，排至南区水质净化厂
接入市政污水管
网，排至南区水质净化厂
排水方式不变，仅排水量增加
供电
依托市政电网
依托市政电网
供电不变，仅耗电量稍有增加
办公
办公室、会议室
等
办公室、会议室
等
不变
环保工程
废水
2m3/h，采用“混凝-絮凝-斜管沉
淀”处理工艺
2m3/h，采用“混凝-絮凝-斜管沉
淀”处理工艺
位于新增一套 3m3/h 污水处理设施，处理工艺与现有工艺一致
位于现有厂房房顶
废气
/
/
无废气产生
噪声
/
/
通过设备选型、合理布局治理
固体废物
污泥压滤、暂存
污泥压滤、暂存
不变，依托现有污泥压滤、暂存
设施
二、总平面布置及周边环境概况
1、平面布局
珠海市中芯集成电路有限公司位于珠海市南屏科技工业园屏西三路 8 号厂房（租赁方式），企业厂房内分为测试车间、减薄车间、切割车间、挑晶室、检验室、测试办公室、仓库、会议室、配电间等多个单元，具体如下图 1.2-1 所示。
图 1.2-1 本项目车间内平面布置图
本项目改造设施后，新增切割机等设备均位于切割车间，厂区扩大了晶圆的加工能力，从年加工 10 万片扩能至年加工 15 万片，并在现有 2m3/h 的污水处理设施基础上， 新增一套 3m3/h 污水处理系统，不涉及对现有车间布局的调整。
在厂房东侧为现有 2m3/h 污水处理设施和污泥存放处。
图 1.2-2 厂区污泥存放间现场情况
本项目建设内容简单，不涉及土建工程，本项目实施后，全厂总平面布置不发生变化。全厂总平面布置图如下所示：
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1.2-3 全厂总平面布置图
2、四至情况
珠海市中芯集成电路有限公司位于珠海市香洲区南屏科技工业园内，周边均为高新技术生产企业。本项目厂房东南侧为香洲金刚石砂轮有限公司，西南侧为屏西三路和格林泰德光伏科技有限公司，西北侧为那美科技发展有限公司，东北侧为旭诠电子科技（珠海）有限公司和世纪康美生物科技有限公司。本项目厂房距离最近敏感点为南兴街居民楼，位于本项目北面约 220m 处。
项目具体四至图见附图 2 所示。
三、产业政策符合性分析
经查阅，本项目为集成电路制造[C3973]，涉及芯片的封装测试，属于《产业结构调整指导目录（2019 年本）》鼓励类项目中“二十八、信息产业；19、集成电路设计和20、集成电路装备制造”。
因此，本项目属于产业政策鼓励类项目，符合国家有关产业政策要求。
与本项目有关的原有污染情况及主要环境问题
与本项目有关的原有污染情况
本项目主要利用原有厂房内进行设备安装等建设，不涉及土建工程。
目前企业主要从事半导体测试及加工，现有生产建设内容为年加工晶圆 10 万片。目前环保批复内容和实际建设内容对比一览表如下所示。
表 1.2-1 环评批复与实际建设内容对比一览表
序号
珠香环建表[2018]10 号环评批复要求
实际落实情况
1
根据《报告表》，本项目不产生及排放废气
本项目目前无废气产生，一致
2
项目生产经营过程中产生的生产废水、反渗透浓缩废水和生活污水，需按《报告表》中措施处理达标后达标排入城市污水处理厂， 执行广东省《水污染物排放限值》
（DB44/26-2001）第二时段三级标准
本项目反渗透浓缩水为清净下水，直接排入市政污水管网；研磨和切割工序产生废水经自建污水处理设施处理后排入市政管网，最终经南区水质净化厂处理。本项目已办理《城镇污水排入排水管网许可证》（2017 香字第
069 号），一致
3
边角料、废包装材料和污泥等一般工业废弃 物需交由相关单位回收利用或处置，生活垃圾收集后环卫部门清运
本项目不合格晶圆材料及芯片由供应商回 收；生产过程中蓝膜边角料、废包装材料、 废水污泥属于一般工业固体废物，交由固废 回收单位回收；员工生活垃圾交由环卫部门
定期统一清运，一致
4
从事可能产生重大环境污染或者生态破坏行为的相关单位，应当按《企业事业单位突 发环境事件应急预案备案管理办法（试行）
（环发[2015]4 号）规定建立环境污染事故
预防与应急预案，配备相关设备、物质，并报环境保护主管部门备案
》企业已编制突发环境风险应急预案，已向珠 海市香洲区环境保护局备案（备案号：
440202-2018-038-L），一致
5
严格执行防治污染设施与主体工程同时设计、同时施工、同时投入使用的环保“三同时”制度。项目建成后须按规定进行验收，
经验收合格后，方可正式投入使用。
建设过程中严格执行了“三同时”制度，并 编制了《验收报告》，验收合格后才投入生产，一致
1废气
1
现有项目无工业废气产生，对周围大气环境不造成影响。
2废水
2
现有项目排污水主要为员工的日常生活污水及生产废水。本项目生产废水包括来自制备纯水过程产生反渗透浓缩水，研磨及切割过程产生废水。
反渗透浓缩水，属于清洁下水，直接排入市政污水管网，年产生/排放量为 2.4 万吨。研磨及切割废水，主要污染物为悬浮物（单晶硅颗粒），经自建 2m3/h 污水处理设
施治理后，达到广东省《水污染物排放限值》（DB44/26-2001）第二时段三级标准，再
排入市政污水管网，最终进入南区水质净化厂进一步处理。
生活污水，该类污水的主要污染物为 CODCr、BOD5、SS、NH3-N 等。生活污水经三级化粪池处理后经市政污水管网排入南区水质净化处理厂，
表 1.2-2 现有项目废水排放情况一览表
废水类型
主要污染
物
产生浓度
产生量
削减措施
排放浓度
排放量
排放途径
清净下水
24000m3
/
/
/
直排
/
/
进入市政管网
生产废水
24000m3
SS
108
2.6t/a
絮凝+斜
管沉淀
16.2
0.39
生活污水
468m3
CODCr
300
0.140
三级化粪池
250
0.117
BOD5
200
0.094
100
0.047
SS
200
0.094
150
0.070
NH3-N
30
0.014
25
0.012
根据企业 2019 年 10 月 28 日委托珠海天和检测技术有限公司出具的厂区生产废水
监测报告（见附件 1）及企业 2018 年 10 月 10 日验收报告（见附件 2）显示，本项目实施前，企业生产废水经现有污水处理设施处理后，出水水质如下表所示。
表 1.2-3 现有厂区生产废水处理后排放情况检测结果一览表
采样点位
样品
状态
检测项目
2019 年 10 月
检测结果
2018 年 10 月
检测结果
执行标
准
单位
pH
8.14
6.96~8.16
6~9
无量
纲
无色、
悬浮物
4
4L~11
400
五日生化需氧量
0.5L
1.2~4.2
300
企业废水
透明、
处理后排放口
无浮
化学需氧量
4L
4~15
500
（接入园区污
水管网）
油、液
态、完
mg/L
石油类
0.12
0.04~0.11
20
氨氮
0.350
0.130~0.706
/
好
磷酸盐
0.06
0.04~0.10
/
阴离子表面活性剂
0.5L
0.05L
20
由检测结果可知，本项目实施前，厂区生产废水经现有污水处理设施处理后排放能够满足当前排放标准限值要求，实现达标排放。
3噪声
3
本项目现有噪声主要来源于各车间设备噪声。根据企业 2019 年 10 月 28 日委托珠海天和检测技术有限公司出具的厂区生产噪声监测报告显示，厂区各噪声源经合理布
局、墙体阻隔后可确保项目厂界噪声达到《工业企业厂界环境噪声排放标准》
（GB12348-2008）3 类标准的要求。具体监测结果如下表所示：
表 1.2-3 现有厂区厂界噪声排放情况检测结果一览表
监测编号
监测点位
监测结果 Leq（）
噪声排放执行标准
昼间
dB（A）
夜间
dB（A）
1
厂东界外 1m 处
59.2
45.8
昼间 65dB（A） 夜间 55dB（A）
2
厂南界外 1m 处
56.9
47.3
3
厂西界外 1m 处
58.8
47.6
4
厂北界外 1m 处
63.2
46.9
由检测结果可知，本项目实施前，厂区各噪声源均能实现厂界达标排放。
4固体废物
4
本项目现有产生固体废物包括：不合格晶圆材料及芯片，少量，由供应商回收；生产过程中蓝膜边角料、废包装材料等约 40kg/a，废水污泥约 3.4t/a，均属于一般工业固体废物，交由固废回收单位回收；员工生活垃圾产生量约 6.5t/a，交由环卫部门定期统一清运。
周边主要环境问题
根据项目现场调查可知，项目附近主要为工业企业，项目附近的主要环境问题是各企业产生的废气、废水、噪声污染。各企业产生的污染物基本经过有效治理并达标排放， 对环境的影响较小。
--建设项目所在自然环境社会环境简况--
自然环境简况(地形、地貌、气候、气象、水文、植被、生物多样性等)：
一、地理概况
珠海位于广东省的中南部，地处珠江口与南海交汇之处，北接中山，南与澳门水陆相连，包括横琴新区和香洲、斗门、金湾三个行政管理区以及高新技术开发区、高栏港经济管理区、万山海洋经济开发区和保税区四个经济功能区。现有人口 158 多万。
珠海的地域由陆地和海岛组成。总面积 7836 平方千米，其中陆地面积 1701 平
方千米，海域面积 6135 平方千米，海岸线长 224.5 千米，是珠三角各市中海域面积
最大、岛屿最多的城市。拥有大小岛屿 217 个，其中面积大于 500 平方米的岛屿有
147 个，素有“百岛之市”的美誉。
二、地形地貌
珠海地区被北东、北西向断裂切割成断块式隆升与沉降的地貌单元，形成了断块隆升山地与沉降平原。各断块山体、断块山体内的低平地和凹陷平原的展布方向呈北东向。受北东向构造线的控制，珠江口外三列岛屿和沉积盆地呈北东向排列。珠江的入海水道，受北西向构造控制，如磨刀门水道、泥湾门水道均呈北西走向。陆地上山地、丘陵、平原，为纵横交错的水网分割，以丘陵为主。海上岛屿星罗棋布。
珠海的地质主要形成于古生代的寒武纪和泥盆纪、中生代的侏罗纪和白垩纪及新生代的第四纪这五个地质时期。珠海最古老的地质形成于在五亿一千万年前的寒武纪。至大约 3,000 万年前的新生代第三纪末期出现喜马拉雅山造山运动和第四纪冰期之后，珠海地貌的基本格局形成。
三、气候、气象
珠海市地处北回归线以南，冬夏季风交替明显，终年气温较高，偶有阵寒，但冬无严寒，夏不酷热；年日温差较小，属南亚热带海洋性季风气候。珠海市的天文季节时间与自然气候季节时间差异甚大。一年之中，各季节的时间长短不一，即使历年同一季节，开始的时间也不尽同。季节的提早与推迟相差达两个多月。
珠海位于广东省珠江口的西南部，地势平缓，倚山临海，海域辽阔，百岛蹲伏，
属亚热带海洋性气候，常受南亚热带季风影响，多雷雨，其中 4-8 月雨量集中，占全
年降雨量的 7 成以上。全年温暖湿润，冬天不冷，夏天也不会特别热，再加上清新的
空气和整洁的城市环境，一年四季都让你流连忘返。每年的 5 月至 10 月是珠海的雨季，全年的雨水都集中在这个时期。灾害性天气主要是台风和暴雨，个别年份冬季受寒潮低温影响。台风出现的时间多在 6 月至 10 月，年平均 4 次左右。严重影响珠海
市的台风平均每年 1 次，暴雨有 5 次左右。珠海大气的年平均相对湿度是 79%。每年初春时节，细雨连绵，空气相对湿度较大，有时可达到 100%。
春季是珠海全年天气多变的季节。季内以偏东风为主，风向多变，气温变幅大， 个别年份的 3-4 月份会出现“倒春寒”的天气。5 月至 6 月是雨季的前汛期，多雷暴、
骤雨等强对流天气，雨量增多。秋季天气秋高气爽。直到 11 月上旬，冷空气活动开始增强，气温逐渐下降，旱季开始。冬季历期约一个多月，盛行东北季风。同时，海面常伴有 6 级以上的大风。冬季晴天居多，尤其是前冬雨量稀少，天气干爽。所以
3-4 月与 10-12 月是珠海的最佳旅游季节。
四、水文
珠海市位于珠江河口区域。西江是珠江的主干，源出云南省曲靖市马雄山，流经贵州、广西，到广东珠海磨刀门入南海，其(马口站)多年平均径流量 2380 亿立方
米，占珠江径流总量的 77.1％；年内径流相当集中，汛期(4—9 月)的径流量占全年径流总量的 77.7％。根据 1986 年实测洪水分配比计算，磨刀门年径流量为 762.2 亿立方
米，鸡啼门 145 亿立方米，虎跳门 111.1 亿立方米。
珠海市海区潮汐主要是太平洋潮波经巴士海峡和巴林塘海峡传入以后，受地形、河川径流、气象因素的影响所形成，属不正规半日潮，出现潮汐日不等现象。
全市各站的年平均潮差均为 1 米左右，属弱潮河口。由于河道地形、潮波因素影
响，海区潮汐的涨潮历时不相等。在珠江口附近，涨潮平均历时约 5 个小时 30 分，
落潮平均历时约 7 个小时。沿口门河道上溯，如马口(西江)落潮平均历时达 9 个小时，
涨潮平均历时只有 4 个小时 30 分。在外伶仃和担杆岛，涨潮平均历时则大于落潮平均历时。又由于天文因素和摩擦力影响而发生潮间隙，即月中天时与高潮时的相差时间。在万山群岛等岛屿，高潮间隙 7 个小时 30 分~9 个小时 30 分，而海岸附近则为
10 个小时左右。
五、自然资源
珠海动物资源丰富，有国家一级重点保护动物蟒蛇等、国家二级保护动物猕猴、穿山甲、松雀鹰、雀鹰、鸢、褐翅鸦鹃、长耳鸮和虎纹蛙等。有500 多种植被，其中包括担杆岛猕猴保护区的土沉香、吊皮锥和白桂木等3 种国家三级重点保护植物和淇澳红树林保护区内的红树林、斗门区的水松林等珍稀植物。经济作物主要有甘蔗、稻谷、莲藕、番薯、花生、木薯、蔬菜等，果树作物主要有荔枝、龙眼、香蕉、柑桔、杨桃、黄皮、菠萝、芒果、芭乐等，尤以荔枝、龙眼等最具盛名。
原始森林不复存在，植被多为人工植被。水生生物主要有浮游藻类、浮游动物、底栖动物、鱼类、水生维束植物等。
六、项目所在地环境功能属性
表 2-1 建设项目所在地环境功能属性表
项目
内容
水环境功能区
本项目废水排入市政管网，进入南区水质净化厂，最终排入 马骝洲水道。
根据《广东省近岸海域环境功能区划》马骝洲水道为第三类 功能区，水环境质量现状执行国标《海水水质标准》
（GB3097-1997）第三类标准
环境空气功能区
项目所在地属二类区域，执行《环境空气质量标准》
（GB3095-2012）二级标准
环境噪声功能区
项目所在地属于 3 类噪声标准适用区域，执行《声环境质量
标准》（GB3096-2008）3 类标准
是否基本农田保护区
否
是否风景名胜保护区
否
是否自然保护区
否
是否森林公园
否
是否生态功能保护区
否
是否水土流失重点防护区
否
是否生态敏感与脆弱区
否
是否重点文物保护单位
否
是否三河、三湖、两控区
否
是否水库库区
否
是否城镇污水处理厂集污范围
是，南区水质净化厂
--主要编制依据及环境功能属性--
主要编制依据：
《中华人民共和国环境保护法》（2015 年 1 月 1 日起实施）；
《中华人民共和国环境噪声污染防治法》（2018 年 12 月修订）；
《中华人民共和国大气污染防治法》（2015 年 8 月 29 日修订，中华人民共和国主席令第 31 号）；
《中华人民共和国清洁生产促进法》（2012 年 7 月 1 日起施行）；
《中华人民共和国环境影响评价法》（中华人民共和国主席令，第七十七号，
2018 年 12 月 29 日修订）；
《中华人民共和国固体废物污染环境保护法》（2005 年 4 月 1 日起实施，2016 年 11 月 7 日修订）；
《中华人民共和国水污染防治法》（2017 年 6 月 27 日修订）；
《建设项目环境保护事中事后监督管理办法（试行）》环发[2015]163 号；
《关于强化建设项目环境影响评价事中事后监管的实施意见》（环环评
[2018]11 号）；
《建设项目环境保护管理条例》（2017 修订）（国务院令第 682 号）；
《建设项目环境影响评价分类管理名录》（2018 年 4 月 28 日修改）；
《关于实施〈环境空气质量标准〉（GB3095-2012）》的通知（环发[2012]11 号）；
《国务院关于印发水污染防治行动计划的通知》（国发[2015]17 号，2015 年
4 月 2 日发布）；
《国务院办公厅关于印发<控制污染物排放许可制实施方案>的通知》(国办发
〔2016〕81 号)；
《排污许可管理办法（试行）》（部令 第 48 号）；
《国务院关于印发大气污染防治行动计划的通知》（国发〔2013〕37 号）；
《关于印发〈水污染防治行动计划〉的通知》（国发[2015]17 号）；
《关于印发〈土壤污染防治行动计划〉的通知》（国发[2016]31 号）；
《国务院办公厅转发环境保护部等部门关于推进大气污染联防联控工作改善区域空气质量指导意见的通知》（国办发[2010]33 号）；
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《国务院关于加强环境保护重点工作的意见》（国发[2011]35 号）；
《产业结构调整指导目录（2019 年版）》（2020 年 1 月 1 日施行）；
《关于做好环境影响评价制度与排污许可制衔接相关工作的通知》（环办环评[2017]84 号）；
《广东省环境保护条例》（2018 年 11 月 29 日修订）；
《广东省人民政府关于印发广东省土壤污染防治行动计划实施方案的通知》
（粤府〔2016〕145 号）；
《广东省环境保护厅关于印发广东省环境保护“十三五”规划的通知》（粤环〔2016〕51 号）；
《广东省环境保护厅、广东省发展和改革委员会关于印发广东省主体功能区规划的配套环保政策的通知》（粤环〔2014〕7 号）；
《关于印发<珠海市声环境质量标准适用区划分>和<珠海市环境空气质量功能区划分>的通知》（珠环〔2011〕357 号）；
《建设项目环境影响评价技术导则——总纲》（HJ2.1-2016）；
《环境影响评价技术导则——大气环境》（HJ2.2-2018）；
《环境影响评价技术导则——地表水环境》（HJ/T2.3-2018）；
《环境影响评价技术导则——地下水环境》（HJ610-2016）；
《环境影响评价技术导则——生态影响》（HJ19-2011）；
《环境影响评价技术导则——声环境》（HJ2.4—2009）；
《环境影响评价技术导则——生态影响》（HJ19-2011）；
《建设项目环境风险评价技术导则》（HJ/T169-2018）。
--环境质量状况--
建设项目所在地域环境质量现状及主要环境问题(环境空气、地面水、地下水、声环境、生态环境等)：
一、大气环境质量现状
项目所在区域属环境空气二类功能区，环境空气质量执行《环境空气质量标准》
（GB3095-2012）及其 2018 年修改单中的二级标准。
根据珠海市环境保护局网站发布的《2018 年珠海市环境状况》，2018 年珠海市的环境空气质量情况具体见下表 4-1 所示。
表 4-1 区域环境空气质量现状评价表
污染物
年评价指标
现状浓度/
（μg/m3）
标准值/
（μg/m3）
占标率
/%
达标情
况
SO2
年平均质量浓度
7
60
11.67
达标
NO2
年平均质量浓度
30
40
75.00
达标
PM10
年平均质量浓度
43
70
61.43
达标
PM2.5
年平均质量浓度
27
35
77.14
达标
CO
日平均第 95 百分位数质量浓度
1000
4000
25.00
达标
O3
日最大8 小时平均第90 百分位数
162
160
101.25
超标
根据上表可知，2018 年项目所在区域的 SO2、PM10、PM2.5、CO、NO2 达到《环境空气质量标准》（GB3095-2012）及其修改单二级标准，而 O3 日最大 8 小时滑动平均值第 90 百分位数浓度指标达不到《环境空气质量标准》（GB3095-2012）及其修改单二级标准。因此，珠海市大气环境质量现状为不达标，珠海市属于不达标区。
对于臭氧超标情况，应采取有效的应对措施。全面深化能源及产业结构，优化工业布局，大力推进并有效控制机动车船等移动源污染，不断巩固并深化火电行业超低排放和工业锅炉整治的成果，加大氮氧化物和 VOCs（挥发性有机物）协同减排力度， 实施 VOCs 原辅材料清洁化替代工程，全面加强环境监控和精细化管理能力建设，臭氧污染得到初步控制并有效降低日均超标率。不断巩固和深化“十三五”综合整治的成效，全面推进清洁原料替代及清洁能源利用，通过优化工艺流程大力提高各行业清洁化生产水平，提升大气环境精细化管理能力，建立城市空气质量联合会商和联动执法机制，臭氧污染得到进一步控制，空气质量持续改善。
根据《广东省人民政府关于印发<广东省打赢蓝天保卫战实施方案（2018-2020 年）
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>的通知（粤府〔2018〕128 号）》，要求“珠三角地区建设项目实施 VOCs 排放两倍削减量替代”；根据《珠海市人民政府办公室关于印发珠海市环境空气质量提升计划（2018-2020）的通知》，要求“对排放二氧化硫、氮氧化物建设项目实行现役源 2 倍削减量替代”，通过采取一系列措施后，可逐步改善珠海市环境空气质量，实现空气质量 6 项主要污染物（二氧化硫、二氧化氮、可吸入颗粒物、细颗粒物、一氧化碳、臭氧）全面达标。
二、水环境质量现状
项目所在地南屏科技工业园，属于珠海市南区水质净化厂纳污范围，该工业园区内企业产生的生活污水及工业废水经市政管网引至南区水质净化厂进行集中处理，经南区水质净化厂处理后的尾水最终汇入马骝洲水道。根据《广东省近岸海域环境功能区划》(粤府办[1999]68 号)，马骝洲水道属于海水三类水体，执行《海水水质标准》
（GB3097-1997）三类标准。
项目引用珠海市天禾环保工程有限公司于 2019 年 1 月 11 日出具的水环境质量监
测报告（报告编号：TH（2019）011101/A）的监测数据，监测时间为 3 天，监测结果详见表 4-2。
表 4-2 马骝洲水道水质现状监测结果（单位：mg/L）
监测日期
潮期
监测位置
监测项目单位：mg/L（pH值：无量纲）
pH值
DO
SS
CODMn
BOD5
无机氮
（以N计）
活性磷酸盐
（以P计）
石油类
2018
涨潮
7.46
5.16
23.46
2.65
1.51
0.41
0.116
0.11
退潮
（W1）
7.48
5.10
12.55
2.97
1.27
0.38
0.097
0.03
涨潮
7.37
5.07
18.04
2.61
1.35
0.27
0.209
0.04
2018
南区水质净
12.14
退潮
化厂排污口
7.82
5.13
7.87
2.85
1.35
0.39
0.106
0.01
2018
涨潮
上游500m处
7.28
5.10
7.43
2.55
1.15
0.34
0.110
0.04
12.15
退潮
7.37
5.10
5.44
2.63
1.28
0.31
0.109
0.03
2018
涨潮
（W2） 南区水质净化厂排污口
7.58
5.13
16.46
2.48
1.44
0.33
0.111
0.05
12.13
退潮
7.76
5.13
11.90
2.57
1.22
0.38
0.136
0.04
2018
涨潮
7.38
5.10
11.32
2.44
1.32
0.28
0.116
0.03
12.14
退潮
7.74
5.10
5.23
2.52
1.25
0.36
0.096
0.04
2018
涨潮
8.11
5.07
5.23
2.63
1.31
0.29
0.202
0.03
12.15
退潮
7.85
5.04
3.66
2.79
1.35
0.30
0.110
0.06
2018
涨潮
（W3） 南区水质净化厂排污口下游1000m
处
8.10
5.20
12.12
2.73
1.38
0.40
0.110
0.09
12.13
退潮
7.95
5.16
10.18
2.65
1.31
0.41
0.110
0.05
2018
涨潮
7.72
5.17
8.46
2.44
1.21
0.32
0.262
0.01
12.14
退潮
7.72
5.13
5.85
2.69
1.26
0.35
0.212
0.04
2018
涨潮
8.31
5.13
6.01
2.67
1.35
0.34
0.117
0.04
12.15
退潮
7.66
5.10
3.42
2.79
1.32
0.37
0.120
0.03
《海水水质标准》
（GB3097-1997）三类标准
6.8~8.8
>4
人为增加的量
≤100
≤4
≤4
≤0.40
≤0.030
≤0.30
监测结果表明，除马骝洲水道水质监测因子除无机氮、活性磷酸盐超标外，其余因子均符合《海水水质标准》（GB3097-1997）中的第三类标准。其中无机氮超标率为 11%，最大超标倍数为 0.025；活性磷酸盐超标率为 100%，最大超标倍数为 7.7。超标原因主要为该纳污水体周边城镇居民生活污水纳污管网尚未完善，两岸生活污水未处理达标直接进入马骝洲水道导致无机氮、活性磷酸盐超标。
经查询并对比马骝洲水道历史监测资料及相关环评结论可知，2014~2019 年，马骝洲水道水污染物因子无机氮超标率及超标倍数已大幅下降，但活性磷酸盐仍维持较高的超标率及超标倍数。
总体而言，本项目废水纳污的海水区域水环境质量一般，水质逐年略有好转。
三、声环境质量现状
本项目位于珠海市南屏科技工业园内，项目各边界声环境功能区划为 3 类标准适用区，声环境执行《声环境质量标准》(GB3096-2008)3 类标准，即昼间≤65dB， 夜间≤55dB（A）。
根据建设单位委托广东天和检测技术有限公司于 2018 年 10 月 18 日~19 日对建设项目进行的环境保护竣工验收环境噪声现状监测结果，监测结果见下表：
表 4-4 声环境质量现状监测结果一览表
根据监测结果， 项目各厂界环境噪声均能满足达到《声环境质量标准》
（GB3096-2008）3 类标准，项目周边声环境质量现状较好。
四、生态质量现状
监测地点及编号
监测地点及编号
监测日期及监测结果：Leq[dB(A)]
2018 年 10 月 18 日
2018 年 10 月 19 日
昼间
夜间
昼间
夜间
N1 东厂界外 1m 处
61.8
52.7
62.3
53.4
N2 南厂界外 1m 处
57.5
48.1
58.1
49.3
N3 西厂界外 1m 处
55.4
46.4
55.3
46.1
N4 北厂界外 1m 处
60.3
50.3
60.9
51.8
执行标准值
65
55
65
55
项目处于工业厂区、人类活动频繁区，生物多样性较简单。绿化树种多为人工美化景观的品种，植物主要是常见热带草本植被组成，动物种类和数量较少。该区域植被和偶尔见到的动物均为常见物种，没有属国家、地方保护的珍稀动植物，区域生态系统敏感程度较低，生态环境质量现状一般。
主要环境保护目标（列出名单及保护级别）： 一、大气环境保护目标：
确保项目周围大气环境质量符合《环境空气质量标准》(GB3095-2012)中的二级标准。
二、地表水保护目标：
确保评价范围内水环境质量现状不因本项目的建设而明显恶化。（项目产生的废水经处理后最终进入马骝洲水道近岸海域，其水质保护类别为《海水水质标准》
（GB3097-1997）第三类标准。三、声环境保护目标：
确保建设项目在营运期间产生的噪声对周围声环境影响较小。（本项目所处区域
声环境功能区划为 3 类标准适用区，声环境质量保护级别为《声环境质量标准》
(GB3096-2008)3 类标准）。
四、建设项目附近敏感点保护目标
根据对建设项目现场调查可知，本项目拟选址于珠海市香洲区南屏科技工业园屏西三路 8 号厂房一、二层，本项目附近 500 米范围内主要环境敏感点见表 4-5 所示。
表 4-5 建设项目选址附近主要保护敏感目标
序号
敏感点名称
影响规模
所处方位
与项目边界距离
对何种污染物敏感
环境保护控制目标
1
南兴街居民楼
500 人
北面
220m
废气、噪声
大气二级，声
环境 2 类
2
广昌社区东豆街居民楼
1500 人
南面
343m
废气、噪声
大气二级，声环境 3 类
3
合胜街居民楼
500 人
西北面
272m
废气、噪声
4
珠海市工贸技
工学校
2000 人
西南面
455m
废气、噪声
污染物标准限值（μg/m3）引用标准1 小时平均日平均
污染物
标准限值（μg/m3）
引用标准
1 小时平均
日平均
年平均
NO2
200
80
40
《环境空气质量标准》（GB3095-2012）中的二级标准
*臭氧为 8 小时平均值
SO2
500
150
60
TSP
--
300
200
PM10
--
150
70
O3
200
160*
--
PM2.5
--
75
35
污染物
pH 值
CODMn
DO
非离子氨
无机氮
活性磷酸盐
三类
6.8~8.8
≤4
≥4
≤0.02
≤0.4
≤0.030
类别
昼间
夜间
《声环境质量标准》(GB3096-2008)
3 类
65 dB(A)
55 dB(A)
污染物名称
CODcr
BOD5
SS
NH3-N
石油类
磷酸盐
LAS
《水污染物排放限值》
(第二时段）三级标准限值
500
300
400
/
20
/
20
环境质量标准
1、空气质量执行国家《环境空气质量标准》(GB3095-2012)及其修改单中的二级标准。
表 5-1 大气环境质量标准限值
2、马骝洲水道近岸海域执行《海水水质标准》（GB3097-1997）第三类标准。
表 5-2 马骝洲水道近岸海域环境质量标准（单位：mg/L，pH 为无量纲）
3、根据项目所在区域的声环境功能区划及周边环境特点，厂界执行《声环境质量标准》（GB3096-2008）3 类标准，具体限值见表 5-3。
表 5-3 环境噪声质量标准限值
污染物排放标准
1、废气排放标准
本项目不产生工业废气，不涉及废气排放。
2、废水排放标准
本项目新增产生的研磨及切割废水、现有的生活污水排放执行广东省地方标准
《水污染物排放限值》（DB44/26-2001）第二时段三级标准，具体标准限值见表 5-4。
表 5-4 水污染排放限值
本项目排放生产废水及生活污水经园区污水管网进入珠海市南区污水处理厂
（一期）进一步处理，依托的南区污水处理厂（一期）在 2018 年提标改造后出水水质执行《城镇污水处理厂污染物排放标准》（GB18918-2002）一级 A 标准以及
广东省地方标准《水污染物排放限值》（DB4426－2001）第二时段一级标准中较严者，最终排放至马骝洲水道后排海，本项目依托的南区污水处理厂（一期）尾水排
放标准如下所示：
表 5-5 水污染排放限值
注：括号外数值为水温>12℃时的控制指标，括号内数值为水温≤12℃时的控制指标
3、噪声排放标准
本项目施工期较短，主要为厂房内设备安装，不涉及土建工程，在施工噪声执行《建筑施工场界环境噪声排放标准》（GB12523－2011）中的标准限值；营运期各厂界噪声执行《工业企业厂界环境噪声排放标准》（GB12348－2008）中的 3 类标准限值，具体标准限值见表 5-8。
表 5-8 噪声排放限值
4、固体废物排放和管理标准
项目产生的一般工业固体废物由供应单位回收处理，在厂区的临时贮存和管理执行《一般工业固体废物贮存、处置场污染控制标准》（GB18599-2001）以及 2013 修订本的有关规定。
总量控制指
标
本评价建议厂区排放的水污染物总量控制指标由南区水质净化厂调配，本项目不单独设置水污染物总量控制指标。
污染物名称CODcr
污染物名称
CODcr
BOD5
SS
NH3-N
石油
类
磷酸
盐
LAS
《城镇污水处理厂污染物排放标准》
（GB18918-2002）一级 A 标准
50
10
10
5（8）
1
/
0.5
《水污染排放限值》（DB4426－
2001）第二时段一级标准
40
20
20
10
5.0
0.5
5.0
本项目废水依托的珠海市南区污水
处理厂（一期）尾水排放标准
40
10
10
5（8）
1
0.5
0.5
时段
类别
标准限值(dB(A))
标准来源
昼间
夜间
施工期
/
70
55
《建筑施工场界环境噪声排放标准》
（GB12523－2011）
营运期
3 类
65
55
《工业企业厂界环境噪声排放标准》
（GB12348－2008）
--建设项目工程分析--
工艺流程简述（图示）：
一、施工期
项目施工期内主要对厂房内现有设备购置新增，不调整生产工艺流程。安装新购置的生产设备不涉及土建工程，无需动用大型施工机械和大型运输车辆，仅需进行设备安装调试，不产生污染物，施工噪声不会对周边企业和居民产生影响。
二、营运期
本项目改造前后，生产工艺不变，本项目产品生产工艺流程图见图 1。
蓝膜 纯水 噪声
原材料 质检
正面贴膜 研磨
检验测试
不良原料
蓝膜边角料
废水
纯水 蓝膜
包装出货
挑晶 切割
反面贴膜
不合格晶粒 废水 蓝膜边角料
图 6-1 营运期工艺流程图
流程简述：
原材料晶圆是指硅半导体集成电路制作所用的硅晶片，由于其形状为圆形，故称为晶圆;在硅晶片上加工制作若干集成电路小型芯片，晶圆经过质检后合格即可用于加工，不合格则退回供应商。
正面贴膜：在晶圆上一面带晶粒（集成电路芯片）即正面，一面则为单晶硅材料即反面，用贴膜机在带晶粒一面先贴上蓝色薄膜，并根据晶圆大小形状对蓝膜裁切。贴膜目的是保护晶粒，使其不会在研磨晶圆时被损坏，贴膜过程不涉及加热，不会产生废气。
研磨：利用湿法研磨机对晶圆反面进行研磨，使晶圆硅材料一面变薄，该过程又称为减薄，一般晶圆原材料单晶硅厚度为 700 微米，研磨后晶圆单硅材料厚度为
200-300 微米。研磨过程中通过水流将研磨的硅颗粒物带走，故不会产生粉尘，研磨用水为自制纯水。
检验测试：利用测试仪、探针台对减薄后的晶圆进行观察和测试，测试出晶圆片上是否有损坏或不合格芯片。
反面贴膜：利用贴膜机在晶圆反面贴上蓝膜。
切割：由于单晶硅属于半导体，因此必须利用切割机，在晶圆上各芯片与芯片之间的孔隙间进行切割，将晶圆上连接各细小芯片间的硅材料切割出来，使各芯片独立， 但依靠晶圆背面的蓝膜，各芯片仍然保持在原来相对位置。切割过程伴有水流冲洗， 将切割颗粒物带走，无废气产生。
挑晶：利用挑晶机将芯片从晶圆中挑选及分离出来，即完成加工。包装出货：最后将加工完成的晶圆包装出货。
纯水制备工艺流程：
自来水
OR 反渗透设备 纯水
浓缩水
制备纯水水源为自来水，经过反渗透纯水机制备纯水，纯水机出水率约为 50%， 因此同时产生反渗透的浓缩水。
主要污染工序：
一、施工期
项目施工内容简单，为厂房内的设备安装，不产生污染物，不会对周边环境产生不良影响。
二、营运期1、废气
本项目生产过程中无工业废气产生。
2、废水
本项目新增排放废水包括来自制备纯水过程产生反渗透浓缩水，研磨及切割过程产生的废水。本项目不新增定员，故生活污水不新增排放。
1反渗透浓缩水：项目利用现有反渗透纯水机，通过自来水自制备纯水，纯水出水率为 50%。根据目前产能及用水量推算，项目扩能改造后，预计年制备纯水36000m3，则年产生反渗透浓缩水 36000m3，相较现有的 24000 m3/a 反渗透浓缩水排放量，本项目扩能改造新增排放了 12000 m3/a，该反渗透浓缩水属于清洁下水。
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2研磨及切割废水：晶圆研磨和切割工序产生废水，在研磨、切割的过程中颗粒随水流留在水中，颗粒成分单质硅，不溶于水。由于晶圆在研磨、切割过程中不需要添加任何清洗剂，废水的主要污染物为悬浮物。
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根据目前生产的晶圆原料加工情况类比可知，项目所加工的晶圆直径为 200mm， 厚度为 700 微米，单片晶圆质量约为 52g。研磨过程是将晶圆 700 微米的单晶硅层磨
至 350 微米，因此该过程又称为减薄过程，而切割过程是切割相邻芯片之间单晶硅， 但切割宽度极细，产生的硅颗粒极少，因此，本项目生产废水中 SS 主要来自研磨工序，其余来源于切割工序、磨具和磨料的损耗等。
根据厂区原有污染情况表及生产废水监测情况可知，在原有的 10
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